还原炉的原理

还原炉的原理

还原炉的工作原理是通过高温硅芯将三氯氢硅与氢的混合气体反应产生多晶硅并沉积在硅芯上，最终产物是沉积在硅芯上的多晶硅。一般来说，还原炉进料气体在炉内分布是否均匀，气体停留时间和流速对多晶硅的生长质量和速度起着关键作用。

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关键词：  还原炉  光伏行业烘箱  热管烘箱

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